五月八号。
荷兰,费尔德霍芬。
ASML总部。
一栋灰色的方形建筑,门口竖了两块巨幅广告牌,蓝底白字。
“EUV:TheFutureofSemiconductorManufacturing”
发布会定在上午十点。九点半人就到齐了。
三百多人,坐满了报告厅。
路透、彭博、金融时报、华尔街日报、日经新闻、法兰克福汇报——全球科技口的记者来了一半。
摄像机架了两排,闪光灯试了又试。
范德贝尔穿了件深蓝西装,白衬衫,没打领带。
他站在后台,助手递过来一杯水,他喝了一口,放下。
“准备好了?”
助手点头。
十点整,灯暗了。
范德贝尔走上台。
身后是一块十二米宽的LED屏,屏上一行字。
“EUVAlphaDemoUnit—FirstLight”
掌声。
范德贝尔没废话。
“今天,我给各位看一样东西。”
屏幕切换,实时画面——隔壁的洁净室。
一台机器占了半间屋子,银白色外壳,管线密密麻麻。
范德贝尔拿起遥控器,按了一下。
洁净室里,工程师启动程序。
嗡的一声。
机器亮了。
屏幕上跳出一组数字。
光源功率:62瓦。
波长:13.5纳米。
曝光均匀性:99.2%。
报告厅安静了三秒。
然后掌声炸了。
范德贝尔站在台上,等掌声停了。
“62瓦。各位,我们原定的目标是50瓦,今天的实测数据超出了百分之二十四。”
台下记者开始举手。
范德贝尔摆了摆手。
“问题等会儿再说,先看完。”
屏幕上切出第二组数据。
分辨率测试:45纳米线宽,清晰,没有畸变。
第三组,套刻精度:3.2纳米。
范德贝尔指着屏幕。
“这意味着,EUV光刻技术从实验室走向了工程验证阶段。我们距离量产只差最后一步。”
掌声又起来了。
发布会结束,记者围上去。
范德贝尔回答了十二个问题。最后一个,金融时报的记者问。
“首批量产设备的客户名单,能透露吗?”
范德贝尔笑了一下。
“首批设备将优先供应我们的长期合作伙伴——台积电,三星,英特尔。至于亚洲其他地区的客户,目前没有计划。”
这句话当天晚上就上了所有科技媒体的头条。
彭博的标题。
“ASML宣布EUV光刻机突破关键里程碑:亚洲客户被排除在首批名单外”
京城,后海。
下午三点。
张红旗坐在地下室。
面前一台电脑,屏幕上放的是ASML发布会的网络直播回放。
他从头看到尾,看了两遍。
第一遍看范德贝尔说了什么。
第二遍看屏幕上那些数字。
62瓦,13.5纳米,99.2%,45纳米,3.2纳米。
他把这些数字一个一个抄在纸上。
陈默站在旁边,没说话。
张红旗把纸折好,装进信封。
“发鹏城,钱老亲启。今天就寄,用最快的。”
陈默接过去,走了。
五月十号。
鹏城,地下室。
钱院士把ASML发布会的参数输进了模拟集群。
十台服务器跑了六个小时。
结果出来了。
钱院士把两张曲线图叠在一起。
一张是ASML公布的实测数据。
一张是集群用那五项专利的拉格朗日方程组模拟出来的理论曲线。
两条线,完全重合。
误差小于千分之三。
钱院士把眼镜摘下来,擦了擦,戴回去。
又看了一遍。
他拿起电话。
“张总,确认了。”
张红旗在煤市街。
“说。”
“他们发布会上展示的光路数据,我用我们的专利算法跑了一遍,结果完全一致。62瓦的光源输出,99.2%的均匀性,45纳米的分辨率,全都能复现。”
钱院士停了一下。
“用的就是我们的数学,一模一样。”
张红旗没说话。
钱院士又补了一句。
“证据链闭合了。他们的设备从光源到成像,每一步计算都踩在我们的专利上。”
张红旗说了两个字。
“知道了。”
挂了。
五月十二号。
京城,国际饭店。
《英雄》国内首映礼。
张红旗让刘浩操办的。
刘浩干这事在行——请了两百多号人,媒体记者占了一半,明星大腕来了三十多个。红毯,闪光灯,主持人嗓门扯得老大。
张谋子站在台上,说了几句感谢的话。
票房预测铺天盖地。
所有娱乐版的头条都被《英雄》占了。
没有一家媒体关注半导体。
五月十五号。
范德贝尔接受荷兰国家电视台专访。
记者问:“EUV设备什么时候能量产?”
范德贝尔说:“2005年底之前,第一台量产设备将交付客户。”
记者又问:“中国市场呢?”
范德贝尔说:“中国在半导体制造领域的技术储备与国际水平存在代际差距,短期内他们不需要这种设备。”
这段话被翻译成中文,在国内论坛上传了一圈。
骂声一片。
张红旗没看。
五月十八号。
洛杉矶。
麦佳佳走进加州中区联邦法院。
手里一份补充起诉书,六十一页。
被告名单第一行。
ASMLHoldingN.V.
起诉理由:ASML的EUV概念机中使用的光学信号处理模块,其底层算法与原告持有的五项全球底层专利构成实质性侵权。
附件,一百八十七页。
其中包括:麻省理工实验室出具的第二份技术鉴定报告,ASML发布会公开数据与专利算法的比对分析,以及钱院士团队提供的理论模型复现结果。
索赔金额:一亿两千万美元。
麦佳佳把文件递进去,签了字。
出来,上车,打电话。
“递进去了。ASML列为第一被告。”
张红旗在煤市街院子里,大槐树刚冒新叶。
“莫里斯那边准备好了?”
“准备好了。对方一有回应,立刻反击。”
张红旗说:“告诉莫里斯,这次不是打官司,是谈判的筹码。让他做好长期作战的准备。”
麦佳佳说:“明白。”
挂了。
五月十八号下午。
费尔德霍芬。
范德贝尔的办公桌上多了一份法院文件。
助手放上去的。
范德贝尔拿起来,翻到第一页。
被告名单:ASMLHoldingN.V.。
他愣了两秒。
翻到起诉理由。
拉格朗日方程组,底层算法,EUV光路计算。
范德贝尔把文件放下。
摘了眼镜。
揉了揉眼睛。
拿起电话,打给法务总监。
“叫律师团,明天早上八点,全部到。”